| Название: | Разработка состава и методики получения суспензий, используемых в процессе химико-механической планаризации слоёв диоксида кремния |
| Авторы: | Рашкевич, Н.А. Косенок, Я.А. |
| Дата публикации: | 2023 |
| Издательство: | Гомельский государственный университет имени Ф.Скорины |
| Библиографическое описание: | Рашкевич, Н.А. Разработка состава и методики получения суспензий, используемых в процессе химико-механической планаризации слоёв диоксида кремния / Н.А. Рашкевич ; науч. рук. Я.А. Косенок // Актуальные вопросы физики и техники : XII Республиканская научная конференция студентов, магистрантов и аспирантов, посвященная 80-летию со дня рождения профессора Максименко Николая Васильевича (Гомель, 20 апреля 2023 г.) : сборник материалов / М-во образования Республики Беларусь, Гомельский гос. ун-т им. Ф. Скорины ; редкол. : Д. Л. Коваленко (гл. ред.) [и др.]. – Гомель : ГГУ им. Ф. Скорины, 2023. – С. 115-118. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/62254 |
| Располагается в коллекциях: | Статьи |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Рашкевич_Разработка.pdf | 477.11 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.