Способ разделения лазерной резкой анизотропного неметаллического материала

Abstract

Способ разделения лазерной резкой анизотропного неметаллического материала, выполненного из слоя кристаллического кремния и слоя стекла, при котором выбирают направление резки упомянутого материала; укладывают упомянутый материал на координатном столе таким образом, чтобы слой кристаллического кремния был расположен сверху; выполняют его надрез по линии реза; затем, перемещая упомянутый материал, последовательно осуществляют лазерный нагрев линии реза лазерным пучком с длиной волны 1,06 мкм, инициируя образование разделяющей микротрещины в слое кристаллического кремния, охлаждают упомянутую микротрещину хладагентом, обеспечивая ее распространение до слоя стекла, который нагревают лазерным пучком с длиной волны 10,6 мкм, обеспечивая распространение микротрещины в слое стекла до его разделения.