Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Соколов, С.И. | - |
| dc.date.accessioned | 2024-05-07T11:59:11Z | - |
| dc.date.available | 2024-05-07T11:59:11Z | - |
| dc.date.issued | 2023 | - |
| dc.identifier.citation | Двухлучевая лазерная обработка кварца для резонаторов и фотошаблонов субмикронных интегральных микросхем : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 / Соколов Сергей Иванович ; Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. - Минск, 2023. - 25 с. | ru |
| dc.identifier.uri | https://elib.gsu.by/handle123456789/67040 | - |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники | ru |
| dc.subject | автореферат | ru |
| dc.title | Двухлучевая лазерная обработка кварца для резонаторов и фотошаблонов субмикронных интегральных микросхем | ru |
| dc.identifier.udk | 621.373.826 | - |
| dc.placeOfPublication | Минск | ru |
| Appears in Collections: | Авторефераты диссертаций | |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Автореферат_Соколов_ВАК_2023.pdf | 1.17 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.