Разработка золь-гель технологии получения тонких наноструктурированных пленок для металлооксидных газовых сенсоров

Abstract

С помощью современных методов исследования (АСМ, эллипсометрия, ИК–спектроскопия и РФЭС с послойным травлением) получен комплекс экспериментальных данных по элементному, молекулярному и фазовому состоянию каталитических нанокомпозитов. Это позволило оптимизировать и систематизировать составы выбранных стабилизирующих и каталитических элементов золей, а также режимов нанесения и термообработки нанокомпозитов. Разработана технология формирования нескольких локальных областей на одном кристалле с различной комбинацией каталитических элементов (Pt и Pd) с целью реализации селективных чувствительных элементов в одном сенсоре.