Структурные свойства пленок ZnO : Al, полученных золь-гель методом

Abstract

Пленки ZnO : Al получены золь-гель осаждением с применением различного типа реагентов при температурах 350−550◦C. Методами атомно-силовой микроскопии, рентгеновской дифракции, комбинационного рассеяния света и оптического пропускания исследована зависимость структурных, морфологических и оптических свойств ZnO : Al покрытий от условий осаждения. Определены оптимальные условия получения слоев ZnO : Al с преимущественной ориентацией в направлении [001] и низкой шероховатостью поверхности. Полученные слои имеют коэффициент оптического пропускания до 95% в широком спектральном диапазоне и могут быть использованы в приборах оптоэлектроники.