Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Федосенко, Н.Н. | - |
| dc.contributor.author | Алешкевич, Н.А. | - |
| dc.contributor.author | Астахов, П.В. | - |
| dc.contributor.author | Купо, А.Н. | - |
| dc.date.accessioned | 2025-10-06T11:39:49Z | - |
| dc.date.available | 2025-10-06T11:39:49Z | - |
| dc.date.issued | 2013 | - |
| dc.identifier.citation | Метод формирования токопроводящих межсоединений в материалах электронной техники / Н.Н. Федосенко, Н.А. Алешкевич, П.В. Астахов, А.Н. Купо // Чрезвычайные ситуации: образование и наука. - 2013. - Т. 8, № 2. - С. 72-76. | ru |
| dc.identifier.uri | https://elib.gsu.by/handle123456789/80365 | - |
| dc.description.abstract | Рассмотрен метод послойного формирования трехмерных токопроводящих межсоединений на кремниевых подложках, отличающийся тем, что для повышения адгезионных свойств получаемых покрытий непосредственно на подложку наносится промежуточный подслой титана, а в целях обеспечения высокой токопроводящей способности полученных соединений процесс электрохимического осаждения сопровождается лазерной стимуляцией. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.subject | токопроводящие межсоединения | ru |
| dc.subject | фотолитография | ru |
| dc.subject | адгезия | ru |
| dc.subject | электрохимическое осаждение | ru |
| dc.subject | лазерная стимуляция | ru |
| dc.title | Метод формирования токопроводящих межсоединений в материалах электронной техники | ru |
| dc.type | Article | ru |
| dc.identifier.udk | 621.357.7:621 | - |
| dc.root | Чрезвычайные ситуации: образование и наука | ru |
| dc.number | № 2 | ru |
| dc.volume | 8 | ru |
| Appears in Collections: | Статьи | |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Федосенко_Метод.pdf | 313.42 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.