Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorКосенок, Я.А.-
dc.contributor.authorГайшун, В.Е.-
dc.contributor.authorТюленкова, О.И.-
dc.contributor.authorДенисман, В.Г.-
dc.contributor.authorГерасименя, Т.А.-
dc.contributor.authorМатюшонок, О.А.-
dc.date.accessioned2025-10-07T14:23:20Z-
dc.date.available2025-10-07T14:23:20Z-
dc.date.issued2014-
dc.identifier.citationИсследование морфологии наночастиц SiO 2 в полирующих суспензиях методами АСМ и СЭМ / Я. А. Косенок, В. Е. Гайшун, О. И. Тюленкова [и др.] // Химия, физика и технология поверхности. – 2014. – Т. 5, № 1. – С. 89-93.ru
dc.identifier.urihttps://elib.gsu.by/handle123456789/80496-
dc.description.abstractОписывается методика получения и результаты исследований морфологии наночастиц в концентрированных водных суспензиях на основе пирогенного диоксида кремния, а также силикатного золя, полученного по ионообменной технологии. Результаты имеют значение для разработки полировальных композиций, а также для установления закономерностей формирования структурных, химических и электрофизических свойств поверхности и объяснения механизма химикомеханической полировки полупроводниковых материалов.ru
dc.language.isoruru
dc.subjectполировка суспензииru
dc.subjectнаночастицы кремнеземаru
dc.subjectАСМ и СЭМ исследованияru
dc.subjectсиликатный зольru
dc.titleИсследование морфологии наночастиц SiO2 в полирующих суспензиях методами АСМ И СЭМru
dc.typeArticleru
dc.identifier.udk546.284-31-
dc.rootХимия, физика и технология поверхностиru
dc.number1ru
dc.volume5ru
Appears in Collections:Статьи

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Косенок_Исследование.pdf441.77 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.