Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Косенок, Я.А. | - |
| dc.contributor.author | Гайшун, В.Е. | - |
| dc.contributor.author | Тюленкова, О.И. | - |
| dc.contributor.author | Денисман, В.Г. | - |
| dc.contributor.author | Герасименя, Т.А. | - |
| dc.contributor.author | Матюшонок, О.А. | - |
| dc.date.accessioned | 2025-10-07T14:23:20Z | - |
| dc.date.available | 2025-10-07T14:23:20Z | - |
| dc.date.issued | 2014 | - |
| dc.identifier.citation | Исследование морфологии наночастиц SiO 2 в полирующих суспензиях методами АСМ и СЭМ / Я. А. Косенок, В. Е. Гайшун, О. И. Тюленкова [и др.] // Химия, физика и технология поверхности. – 2014. – Т. 5, № 1. – С. 89-93. | ru |
| dc.identifier.uri | https://elib.gsu.by/handle123456789/80496 | - |
| dc.description.abstract | Описывается методика получения и результаты исследований морфологии наночастиц в концентрированных водных суспензиях на основе пирогенного диоксида кремния, а также силикатного золя, полученного по ионообменной технологии. Результаты имеют значение для разработки полировальных композиций, а также для установления закономерностей формирования структурных, химических и электрофизических свойств поверхности и объяснения механизма химикомеханической полировки полупроводниковых материалов. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.subject | полировка суспензии | ru |
| dc.subject | наночастицы кремнезема | ru |
| dc.subject | АСМ и СЭМ исследования | ru |
| dc.subject | силикатный золь | ru |
| dc.title | Исследование морфологии наночастиц SiO2 в полирующих суспензиях методами АСМ И СЭМ | ru |
| dc.type | Article | ru |
| dc.identifier.udk | 546.284-31 | - |
| dc.root | Химия, физика и технология поверхности | ru |
| dc.number | 1 | ru |
| dc.volume | 5 | ru |
| Appears in Collections: | Статьи | |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Косенок_Исследование.pdf | 441.77 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.