Skip navigation
Home
Browse
Communities
& Collections
Browse Items by:
Issue Date
Author
Title
Subject
Help
Language
English
русский
Sign on to:
My DSpace
Receive email
updates
Edit Profile
DSpace
JSPUI
DSpace preserves and enables easy and open access to all types of digital content including text, images, moving images, mpegs and data sets
Learn More
Репозиторий УО "Гомельский государственный университет имени Франциска Скорины"
Search
Search:
All of DSpace
Периодические издания университета
Проблемы физики, математики, техники
Проблемы физики, математики, техники. Информатика
Проблемы физики, математики, техники. Люди науки
Проблемы физики, математики, техники. Математика
Проблемы физики, математики, техники. Обзоры
Проблемы физики, математики, техники. Техника
Проблемы физики, математики, техники. Физика
for
Current filters:
Title
Author
Subject
Date Issued
Has File(s)
???jsp.search.filter.original_bundle_filenames???
???jsp.search.filter.original_bundle_descriptions???
Equals
Contains
ID
Not Equals
Not Contains
Not ID
Start a new search
Add filters:
Use filters to refine the search results.
Title
Author
Subject
Date Issued
Has File(s)
???jsp.search.filter.original_bundle_filenames???
???jsp.search.filter.original_bundle_descriptions???
Equals
Contains
ID
Not Equals
Not Contains
Not ID
Results 1-4 of 4 (Search time: 0.015 seconds).
previous
1
next
Item hits:
Issue Date
Title
Author(s)
2019
Диэлектрические свойства пленок оксида тантала, нанесенных методом реактивного магнетронного распыления
Вилья, Н.
;
Голосов, Д.А.
;
Нгуен, Т.Д.
;
Villa, N.
;
Golosov, D.A.
;
Nguyen, T.D.
2020
Формирование пленок оксида тантала на подложках диаметром 200 миллиметров
Вилья, Н.
;
Голосов, Д.А.
;
Мельников, С.Н.
;
Нгуен, Т.Д.
;
Голосов, А.Д.
;
Литвин, Э.Е.
;
Лам, Н.Н.
;
Villa, N.
;
Golosov, D.A.
;
Melnikov, S.N.
;
Nguyen, T.D.
;
Golosov, A.D.
;
Litvin, E.E.
;
Lam, N.N.
2022
Особенности реактивного магнетронного нанесения пленок оксида тантала при различных способах подачи газа в камеру
Доан, Х.Т.
;
Голосов, Д.А.
;
Бурдовицин, В.А.
;
Завадский, С.М.
;
Мельников, С.Н.
;
Doan, H.T.
;
Golosov, D.A.
;
Burdovitsin, V.A.
;
Zavadski, S.M.
;
Melnikov, S.N.
2023
Влияние степени легирования алюминием на свойства пленок оксида титана-алюминия
Доан, Х.Т.
;
Голосов, Д.А.
;
Джанг, Дж.
;
Кананович, Н.А.
;
Завадский, С.М.
;
Мельников, С.Н.
;
Doan, H.T.
;
Golosov, D.A.
;
Zhang, J.
;
Kananovich, N.A.
;
Zavadski, S.M.
;
Melnikov, S.N.
Discover
Author
4
Golosov, D.A.
4
Голосов, Д.А.
3
Melnikov, S.N.
3
Мельников, С.Н.
2
Doan, H.T.
2
Nguyen, T.D.
2
Villa, N.
2
Zavadski, S.M.
2
Вилья, Н.
2
Доан, Х.Т.
.
next >
Subject
4
реактивное магнетронное распыление
3
dielectric properties
3
tantalum oxide
3
thin films
3
диэлектрические свойства
3
оксид тантала
3
тонкие пленки
2
MOS structure
1
band gap
1
composite target
.
next >
Date issued
1
2019
1
2020
1
2022
1
2023
Has File(s)
4
true