Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorКупо, А.Н.-
dc.contributor.authorФедосенко, Н.Н.-
dc.contributor.authorПобияха, А.С.-
dc.date.accessioned2021-03-25T08:11:37Z-
dc.date.available2021-03-25T08:11:37Z-
dc.date.issued2015-
dc.identifier.citationКупо, А.Н. Моделирование фотохимических процессов лазерного экспонирования фоторезистов / А.Н. Купо, Н.Н. Федосенко, А.С. Побияха // Юбилейная научно-практическая конференция, посвященная 85-летию Гомельского государственного университета имени Франциска Скорины (Гомель, 17 июня 2015 г.) : материалы : в 4 ч. Ч. 4 / редкол.: О.М. Демиденко (гл. ред.) [и др.] ; Гомельский государственный университет имени Ф.Скорины. – Гомель : ГГУ им. Ф. Скорины, 2015. – С. 45-48.ru
dc.identifier.urihttp://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/18969-
dc.language.isoРусскийru
dc.publisherГомельский государственный университет имени Ф. Скориныru
dc.titleМоделирование фотохимических процессов лазерного экспонирования фоторезистовru
dc.typeArticleru
dc.typeBookru
dc.rootЮбилейная научно-практическая конференция, посвященная 85-летию Гомельского государственного университета имени Франциска Скорины (Гомель, 17 июня 2015 г.)ru
dc.placeOfPublicationГомельru
Appears in Collections:Статьи

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Купо_Моделирование.pdf391.2 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.