Title: | Моделирование фотохимических процессов лазерного экспонирования фоторезистов |
Authors: | Купо, А.Н. Федосенко, Н.Н. Побияха, А.С. |
Issue Date: | 2015 |
Publisher: | Гомельский государственный университет имени Ф. Скорины |
Citation: | Купо, А.Н. Моделирование фотохимических процессов лазерного экспонирования фоторезистов / А.Н. Купо, Н.Н. Федосенко, А.С. Побияха // Юбилейная научно-практическая конференция, посвященная 85-летию Гомельского государственного университета имени Франциска Скорины (Гомель, 17 июня 2015 г.) : материалы : в 4 ч. Ч. 4 / редкол.: О.М. Демиденко (гл. ред.) [и др.] ; Гомельский государственный университет имени Ф.Скорины. – Гомель : ГГУ им. Ф. Скорины, 2015. – С. 45-48. |
URI: | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/18969 |
Appears in Collections: | Статьи |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Купо_Моделирование.pdf | 391.2 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.