| Title: | Использование суспензий на основе пирогенного кремнезема для химико-механической полировки монокристаллического кремния |
| Authors: | Гайшун, В.Е. Косенок, Я.А. Тюленкова, О.И. Туров, В.В. Гунько, В.М. |
| Issue Date: | 2008 |
| Citation: | Использование суспензий на основе пирогенного кремнезема для химико-механической полировки монокристаллического кремния / В.Е. Гайшун [и др.] // Поверхность. - 2008. - Вип. 14. - С. 423-428. |
| Abstract: | В статье описывается методика приготовления полирующих суспензий на основе наноразмерных частиц пирогенного кремнезема, приводятся их основные технологические характеристики, а также даются рекомендации по их использованию в химико-механической полировке полупроводниковых пластин монокристаллического кремния. |
| URI: | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/33593 |
| Appears in Collections: | Статьи |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Гайшун_Использование.pdf | 114.58 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.