| Title: | Эллипсометрические исследования сильно поглощающих пленок на поверхности кремния |
| Authors: | Белинска, А.А. Калныня, Р.П. Фелтынь, И.А. |
| Issue Date: | 1979 |
| Publisher: | Наука |
| Citation: | Белинска, А.А. Эллипсометрические исследования сильно поглощающих пленок на поверхности кремния / А.А. Белинска, Р.П. Калныня, И.А. Фелтынь // Оптика и спектроскопия / АН СССР. – Ленинград : Наука, 1979. – Т. 46, вып. 2. – С. 317-320. |
| Abstract: | Проведен анализ расчетных зависимостей эллипсометрических параметров для системы кремний - поглощающая пленка. Получено хорошее согласие экспериментальных и расчетных эллипсометрических параметров для модели с учетом присутствия слоев прозрачной естественной окиси на кремниевой подложке и на поглощающей пленке. Показано, что примерно до 200 Å для определения толщины поглощающей пленки целесообразно пользоваться толщинной зависимостью параметра. |
| URI: | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/45737 |
| Appears in Collections: | Оцифрованный фонд |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Белинска_Эллипсометрические.pdf | 7.07 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.