| Title: | Эллипсометрический контроль диэлектрических слоев в полупроводниковых структурах в процессе их получения |
| Authors: | Биленко, Д.И. Галишникова, Ю.Н. Дворкин, Б.А. |
| Issue Date: | 1978 |
| Publisher: | Наука |
| Citation: | Биленко, Д.И. Эллипсометрический контроль диэлектрических слоев в полупроводниковых структурах в процессе их получения / Д.И. Биленко, Ю.Н. Галишникова, Б.А. Дворкин // Оптика и спектроскопия / АН СССР. – Ленинград : Наука, 1978. – Т. 45, вып. 1. – С. 107-113. |
| Abstract: | Рассматривается метод контроля параметров диэлектрического слоя непосредственно в процессе его наращивания на полупроводниковой подложке, основанный на измерении и регистрации временной зависимости азимута линейной поляризации. |
| URI: | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/47090 |
| Appears in Collections: | Оцифрованный фонд |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Биленко_Эллипсометрический.pdf | 9.19 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.