| Название: | Эллипсометрический контроль диэлектрических слоев в полупроводниковых структурах в процессе их получения |
| Авторы: | Биленко, Д.И. Галишникова, Ю.Н. Дворкин, Б.А. |
| Дата публикации: | 1978 |
| Издательство: | Наука |
| Библиографическое описание: | Биленко, Д.И. Эллипсометрический контроль диэлектрических слоев в полупроводниковых структурах в процессе их получения / Д.И. Биленко, Ю.Н. Галишникова, Б.А. Дворкин // Оптика и спектроскопия / АН СССР. – Ленинград : Наука, 1978. – Т. 45, вып. 1. – С. 107-113. |
| Краткий осмотр (реферат): | Рассматривается метод контроля параметров диэлектрического слоя непосредственно в процессе его наращивания на полупроводниковой подложке, основанный на измерении и регистрации временной зависимости азимута линейной поляризации. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/47090 |
| Располагается в коллекциях: | Оцифрованный фонд |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Биленко_Эллипсометрический.pdf | 9.19 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.