Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Биленко, Д.И. | - |
| dc.contributor.author | Галишникова, Ю.Н. | - |
| dc.contributor.author | Дворкин, Б.А. | - |
| dc.date.accessioned | 2022-11-16T08:21:30Z | - |
| dc.date.available | 2022-11-16T08:21:30Z | - |
| dc.date.issued | 1978 | - |
| dc.identifier.citation | Биленко, Д.И. Эллипсометрический контроль диэлектрических слоев в полупроводниковых структурах в процессе их получения / Д.И. Биленко, Ю.Н. Галишникова, Б.А. Дворкин // Оптика и спектроскопия / АН СССР. – Ленинград : Наука, 1978. – Т. 45, вып. 1. – С. 107-113. | ru |
| dc.identifier.uri | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/47090 | - |
| dc.description.abstract | Рассматривается метод контроля параметров диэлектрического слоя непосредственно в процессе его наращивания на полупроводниковой подложке, основанный на измерении и регистрации временной зависимости азимута линейной поляризации. | ru |
| dc.language.iso | Русский | ru |
| dc.publisher | Наука | ru |
| dc.title | Эллипсометрический контроль диэлектрических слоев в полупроводниковых структурах в процессе их получения | ru |
| dc.type | Article | ru |
| dc.identifier.udk | 535.511 | - |
| dc.placeOfPublication | Ленинград | ru |
| dc.edition | 1 | ru |
| dc.volume | 45 | ru |
| Appears in Collections: | Оцифрованный фонд | |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Биленко_Эллипсометрический.pdf | 9.19 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.