Title: | Анализ точности и чувствительности эллипсометрического метода при измерениях на монокристаллах карбида кремния |
Authors: | Асатрян, Г.Г. Лаухе, Ю. Таиров, Ю.М. Цветков, В.Ф. |
Issue Date: | 1979 |
Publisher: | Наука |
Citation: | Анализ точности и чувствительности эллипсометрического метода при измерениях на монокристаллах карбида кремния / Г.Г. Асатрян, Ю. Лаухе, Ю.М. Таиров, В.Ф. Цветков // Оптика и спектроскопия / АН СССР. – Ленинград : Наука, 1979 – Т. 47, вып. 5. – С. 986-988. |
URI: | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/47193 |
Appears in Collections: | Оцифрованный фонд |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Асатрян_Анализ.pdf | 5.16 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.