Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorПророк, В.В.-
dc.contributor.authorШайкевич, И.А.-
dc.date.accessioned2022-12-20T13:33:20Z-
dc.date.available2022-12-20T13:33:20Z-
dc.date.issued1980-
dc.identifier.citationПророк, В.В. Об интерферометрическом измерении толщин очень тонких пленок / В.В. Пророк, И.А. Шайкевич // Оптика и спектроскопия / АН СССР. – Ленинград : Наука, 1980. – Т. 49, вып. 1. – С. 122-125.ru
dc.identifier.urihttp://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/50043-
dc.description.abstractПоказано, что метод определения толщины тонкой пленки, при котором на царапину в пленке наносится толстый слой высокоотражающего металла и затем интерференционным методом измеряется глубина образовавшейся канавки, позволяет измерить массовую толщину пленки.ru
dc.language.isoРусскийru
dc.publisherНаукаru
dc.titleОб интерферометрическом измерении толщин очень тонких пленокru
dc.typeArticleru
dc.identifier.udk539.238+535.417-
dc.placeOfPublicationЛенинградru
dc.edition1ru
dc.volume49ru
Appears in Collections:Оцифрованный фонд

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Пророк_Об_интерферометрическом.pdf5.42 MBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.