Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Сердюков, А.Н. | - |
| dc.contributor.author | Шалупаев, С.В. | - |
| dc.contributor.author | Никитюк, Ю.В. | - |
| dc.date.accessioned | 2024-03-21T07:13:25Z | - |
| dc.date.available | 2024-03-21T07:13:25Z | - |
| dc.date.issued | 2010 | - |
| dc.identifier.citation | Сердюков, А.Н. Особенности управляемого лазерного термораскалывания кристаллического кремния / А.Н. Сердюков, С.В. Шалупаев, Ю.В. Никитюк // Кристаллография. - 2010. - Т. 55, № 6. - С. 992-996. | ru |
| dc.identifier.uri | https://elib.gsu.by/handle123456789/66069 | - |
| dc.description.abstract | Выполнено численное моделирование процесса управляемого лазерного термораскалывания кристаллического кремния. Трехмерный анализ термоупругих полей, формируемых в монокристаллической кремниевой пластине в результате последовательного лазерного нагрева и воздействия хладагента, осуществлялся для трех различных вариантов анизотропии. Моделирование проводилось для случаев воздействия лазерного излучения с длинами волн, равными 1.06 и 0.808 мкм. Проведена экспериментальная проверка полученных результатов с использованием твердотельного лазера на алюмоиттриевом гранате. Полученные результаты могут быть использованы в электронной промышленности для оптимизации процесса прецизионного разделения приборных пластин на кристаллы. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.title | Особенности управляемого лазерного термораскалывания кристаллического кремния | ru |
| dc.type | Article | ru |
| dc.identifier.udk | 621.37/.39:621.9.048.7 | - |
| dc.root | Кристаллография | ru |
| dc.number | № 6 | ru |
| dc.volume | 55 | ru |
| Appears in Collections: | Статьи | |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Сердюков_Особенности.pdf | 241.49 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.