| Title: | Особенности управляемого лазерного термораскалывания кристаллического кремния |
| Authors: | Сердюков, А.Н. Шалупаев, С.В. Никитюк, Ю.В. |
| Issue Date: | 2010 |
| Citation: | Сердюков, А.Н. Особенности управляемого лазерного термораскалывания кристаллического кремния / А.Н. Сердюков, С.В. Шалупаев, Ю.В. Никитюк // Кристаллография. - 2010. - Т. 55, № 6. - С. 992-996. |
| Abstract: | Выполнено численное моделирование процесса управляемого лазерного термораскалывания кристаллического кремния. Трехмерный анализ термоупругих полей, формируемых в монокристаллической кремниевой пластине в результате последовательного лазерного нагрева и воздействия хладагента, осуществлялся для трех различных вариантов анизотропии. Моделирование проводилось для случаев воздействия лазерного излучения с длинами волн, равными 1.06 и 0.808 мкм. Проведена экспериментальная проверка полученных результатов с использованием твердотельного лазера на алюмоиттриевом гранате. Полученные результаты могут быть использованы в электронной промышленности для оптимизации процесса прецизионного разделения приборных пластин на кристаллы. |
| URI: | https://elib.gsu.by/handle123456789/66069 |
| Appears in Collections: | Статьи |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Сердюков_Особенности.pdf | 241.49 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.