Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorСемченко, А.В.-
dc.contributor.authorСидский, В.В.-
dc.contributor.authorГайшун, В.Е.-
dc.contributor.authorТурцевич, А.С.-
dc.contributor.authorКолос, В.В.-
dc.contributor.authorСорока, С.А.-
dc.contributor.authorАсадчий, А.Н.-
dc.date.accessioned2025-09-09T06:56:37Z-
dc.date.available2025-09-09T06:56:37Z-
dc.date.issued2014-
dc.identifier.citationПатент № 2511636 C2 Российская Федерация, МПК H01L 21/316, B05D 5/12, C23C 18/12. Золь-гель способ формирования сегнетоэлектрической стронций -висмут-тантал-оксидной пленки : № 2012121325/28 : заявл. 23.05.2012 : опубл. 10.04.2014 / А. В. Семченко, В. В. Сидский, В. Е. Гайшун [и др.] ; заявитель Учреждение образования "Гомельский государственный университет имени Франциска Скорины", ул. Советская, 104, Открытое акционерное общество "Интеграл". – EDN DUKZXD.ru
dc.identifier.urihttps://elib.gsu.by/handle123456789/78568-
dc.description.abstractИзобретение относится к технологии полупроводниковой микро- и наноэлектроники, а именно к золь-гель технологии получения сегнетоэлектрических тонких стронцийвисмут-тантал-оксидных пленок, далее SrBi2Ta2О9 пленок, на интегральных микросхемах, применяемых, в частности, в устройствах энергонезависимой памяти типа FRAM.ru
dc.language.isoruru
dc.titleЗоль-гель способ формирования сегнетоэлектрической стронций -висмут-тантал-оксидной пленкиru
Appears in Collections:Патенты

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Семченко_Золь-гель.pdf439.98 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.