| Title: | Исследование морфологии наночастиц SiO2 в полирующих суспензиях методами АСМ И СЭМ |
| Authors: | Косенок, Я.А. Гайшун, В.Е. Тюленкова, О.И. Денисман, В.Г. Герасименя, Т.А. Матюшонок, О.А. |
| Keywords: | полировка суспензии наночастицы кремнезема АСМ и СЭМ исследования силикатный золь |
| Issue Date: | 2014 |
| Citation: | Исследование морфологии наночастиц SiO 2 в полирующих суспензиях методами АСМ и СЭМ / Я. А. Косенок, В. Е. Гайшун, О. И. Тюленкова [и др.] // Химия, физика и технология поверхности. – 2014. – Т. 5, № 1. – С. 89-93. |
| Abstract: | Описывается методика получения и результаты исследований морфологии наночастиц в концентрированных водных суспензиях на основе пирогенного диоксида кремния, а также силикатного золя, полученного по ионообменной технологии. Результаты имеют значение для разработки полировальных композиций, а также для установления закономерностей формирования структурных, химических и электрофизических свойств поверхности и объяснения механизма химикомеханической полировки полупроводниковых материалов. |
| URI: | https://elib.gsu.by/handle123456789/80496 |
| Appears in Collections: | Статьи |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Косенок_Исследование.pdf | 441.77 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.