| Title: | Два механизма формирования дефектной структуры в кремнии при ионном внедрении примеси и последующем отжиге |
| Authors: | Максимов, С.К. Лукьянчук, Т.И. Пискунов, Д.И. |
| Issue Date: | 1975 |
| Publisher: | Наука |
| Citation: | Максимов, С.К. Два механизма формирования дефектной структуры в кремнии при ионном внедрении примеси и последующем отжиге / С.К. Максимов, Т.И. Лукьянчук, Д.И. Пискунов // Доклады АН СССР. - Москва : Наука, 1975. - Т. 223, №6. - С. 1351-1354. |
| URI: | https://elib.gsu.by/handle/123456789/88241 |
| Appears in Collections: | Оцифрованный фонд |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Максимов_Два_механизма.pdf | 330.02 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.