Browsing by Subject 3D structure
Showing results 1 to 1 of 1
| Issue Date | Title | Author(s) |
|---|---|---|
| 2024 | Повышение эффективности формирования переходных отверстий в кремниевых подложках посредством комбинированного инфракрасного и лазерного нагрева | Лаппо, А.И. |