Browsing by Subject silicon plate
Showing results 1 to 1 of 1
| Issue Date | Title | Author(s) |
|---|---|---|
| 2020 | Исследование процесса лазерного раскалывания двухслойных структур из пластин кремния и стеклянных подложек | Никитюк, Ю.В.; Nikitjuk, Y.V. |