Issue Date | Title | Author(s) |
2023 | Влияние степени легирования алюминием на свойства пленок оксида титана-алюминия | Доан, Х.Т.; Голосов, Д.А.; Джанг, Дж.; Кананович, Н.А.; Завадский, С.М.; Мельников, С.Н.; Doan, H.T.; Golosov, D.A.; Zhang, J.; Kananovich, N.A.; Zavadski, S.M.; Melnikov, S.N. |
2019 | Диэлектрические свойства пленок оксида тантала, нанесенных методом реактивного магнетронного распыления | Вилья, Н.; Голосов, Д.А.; Нгуен, Т.Д.; Villa, N.; Golosov, D.A.; Nguyen, T.D. |
2016 | Изменение морфологии платинового электрода на кремнии под воздействием высоких температур | Голосов, Д.А.; Окоджи, Д.Э.; Руденков, А.С.; Завадский, С.М.; Мельников, С.Н.; Колос, В.В. |
2022 | Особенности реактивного магнетронного нанесения пленок оксида тантала при различных способах подачи газа в камеру | Доан, Х.Т.; Голосов, Д.А.; Бурдовицин, В.А.; Завадский, С.М.; Мельников, С.Н.; Doan, H.T.; Golosov, D.A.; Burdovitsin, V.A.; Zavadski, S.M.; Melnikov, S.N. |
2020 | Повышение механических характеристик кремний-углеродных покрытий методом ионного азотирования структуры | Руденков, А.С.; Рогачёв, А.В.; Завадский, С.М.; Голосов, Д.А.; Лучников, П.А. |
2010 | Прогнозирование эрозии мишени магнетронных распылительных систем | Голосов, Д.А.; Мельников, С.Н.; Кундас, С.П.; Достанко, А.П.; Golosov, D.A.; Melnikov, S.N.; Kundas, S.P.; Dostanko, A.P. |
2018 | Сегнетоэлектрические свойства пленок танталата стронция-висмута, нанесенных методом ВЧ магнетроного распыления | Окоджи, Д.Э.; Голосов, Д.А.; Мельников, С.Н.; Завадский, С.М.; Колос, В.В.; Поплевка, Е.А.; Жукович, Ю.А.; Okojie, J.E.; Golosov, D.A.; Melnikov, S.N.; Zavadski, S.M.; Kolos, V.V.; Poplevka, E.A.; Zhukovich, Yu.A. |
2016 | Формирование пленок нитрида титана методом реактивного магнетронного распыления при пониженном давлении | Достанко, А.П.; Голосов, Д.А.; Завадский, С.М.; Мельников, С.Н.; Окоджи, Д.Э.; Котинго, Д.Д.; Рубан, Г.М. |
2020 | Формирование пленок оксида тантала на подложках диаметром 200 миллиметров | Вилья, Н.; Голосов, Д.А.; Мельников, С.Н.; Нгуен, Т.Д.; Голосов, А.Д.; Литвин, Э.Е.; Лам, Н.Н.; Villa, N.; Golosov, D.A.; Melnikov, S.N.; Nguyen, T.D.; Golosov, A.D.; Litvin, E.E.; Lam, N.N. |