DSpace JSPUI
DSpace preserves and enables easy and open access to all types of digital content including text, images, moving images, mpegs and data sets
Learn More
Browsing by Author Emelyanov, V.V.
Showing results 1 to 3 of 3
Issue Date | Title | Author(s) |
2023 | Моделирование влияния инфракрасного излучения на фазовый состав покрытий диоксида кремния | Купо, А.Н.; Емельянов, В.В.; Емельянов, В.А.; Kupo, A.N.; Emelyanov, V.V.; Emelyanov, V.A. |
2023 | Моделирование плазмохимического травления функционального слоя нитрида кремния на подслое диоксида кремния в технологиях микроэлектроники | Емельянов, В.В.; Купо, А.Н.; Емельянов, В.А.; Emelyanov, V.V.; Kupo, A.N.; Emelyanov, V.A. |
2023 | Феноменологическая модель травления металлического покрытия в плазме газовой смеси | Емельянов, В.В.; Купо, А.Н.; Емельянов, В.А.; Emelyanov, V.V.; Kupo, A.N.; Emelyanov, V.A. |