Browsing by Subject reactive ion etching
Showing results 1 to 1 of 1
Issue Date | Title | Author(s) |
---|---|---|
2022 | Повышение селективности травления нитрида кремния к диоксиду кремния субмикронных интегральных схем | Емельянов, В.В. |
Issue Date | Title | Author(s) |
---|---|---|
2022 | Повышение селективности травления нитрида кремния к диоксиду кремния субмикронных интегральных схем | Емельянов, В.В. |