Просмотр собрания по группе - Тема mathematical modeling of plasma processes
Результаты 1 по 1 из 1
Дата выпуска | Название | Автор(ы) |
---|---|---|
2023 | Феноменологическая модель травления металлического покрытия в плазме газовой смеси | Емельянов, В.В.; Купо, А.Н.; Емельянов, В.А.; Emelyanov, V.V.; Kupo, A.N.; Emelyanov, V.A. |