Просмотр собрания по группе - Тема reactive ion etching
Результаты 1 по 1 из 1
Дата выпуска | Название | Автор(ы) |
---|---|---|
2022 | Повышение селективности травления нитрида кремния к диоксиду кремния субмикронных интегральных схем | Емельянов, В.В. |