Лазерный послойный количественный анализ с субмикронным разрешением функциональных покрытий промышленных изделий

Abstract

Исследованы возможности двухимпульсной лазерной атомно-эмиссионной спектроскопии для количественного анализа с субмикронным разрешением латунного, бронзового и Ti-Zr-покрытий промышленных изделий. Предложен метод управления плотностью потока лазерного излучения на поверхности, позволяющий изменять толщину испаряемого слоя вещества в диапазоне от 0,1 до 5 мкм. Выявлено, что нагрев образца в процессе нанесения покрытия обусловливает неравномерное распределение компонентов покрытия вследствие явления термодиффузии. The possibilities of the use of double-pulse laser atomic-emission spectroscopy for quantitative analysis with submicron resolution of brass, bronze and Ti-Zr-coatings have been examined. A new method to control the radiation flux density on the sample surface has been proposed. This method allows to change the thickness of evaporated substance layer from 0,1 up to 5 micrometer. It has been found that the heating of the sample during deposition of the coating leads to a heterogeneous distribution of elements due to the thermo diffusion.