Определение оптических параметров композиционных алмазоподобных покрытий

Abstract

Проведены комплексные экспериментальные исследования композиционных алмазоподобных покрытий методами электронной спектроскопии, спектральной и лазерной эллипсометрии. Определены оптические параметры покрытий аналитическими и экспериментальными методами и установлена их корреляция. Показана возможность использования исследуемых соединений в качестве оптических покрытий с необходимыми просветляющими свойствами для заданного спектрального диапазона длин волн, что обеспечивает возможность нанесения данных соединений на оптические элементы приборов для улучшения не только их защитных, но и оптических свойств. Performed comprehensive experimental studies of composite diamond-like coatings by means of electron spectroscopy, spectral and laser ellipsometry. The optical parameters of coatings analytical and experimental methods and establish their correlation . The possibility to use the tested compounds as optical antireflection coating with the necessary properties for a given spectral wavelength range , which provides the possibility of applying these compounds on the optical elements of the devices to increase not only their protective, but also optical properties.