К обратной задаче эллипсометрии неоднородных слоев

Abstract

Рассмотрен вопрос о возможности восстановления профиля диэлектрической проницаемости неоднородного поверхностного диэлектрического слоя методом эллипсометрии. Показано, что погрешности измерения эллипсометрических углов существенно ограничивают возможности восстановления. The possible reconstruction of the profile permittivity of the inhomogeneous surface dielectric layerwith the ellipsometric method has been studied. It is presented that the accuracy of measuring the ellipsomenric angles significantly limits the possibilities of the reconstruction.