| Название: | К обратной задаче эллипсометрии неоднородных слоев |
| Авторы: | Карпенко, В.А. Лаптинский, В.Н. Могилевич, В.Н. Романенко, А.А. |
| Ключевые слова: | обратная задача эллипсометрии неоднородный поверхностный диэлектрический слой ellipsometry inverse problem inhomogeneous surface dielectric layer |
| Дата публикации: | 2011 |
| Издательство: | Гомельский государственный университет имени Ф. Скорины |
| Библиографическое описание: | К обратной задаче эллипсометрии неоднородных слоев / В.А. Карпенко, В.Н. Лаптинский, В.Н. Могилевич, А.А. Романенко // Известия Гомельского государственного университета имени Ф. Скорины. Сер.: Естественные науки. - 2011. - № 6 (69). - С. 88-91. |
| Краткий осмотр (реферат): | Рассмотрен вопрос о возможности восстановления профиля диэлектрической проницаемости неоднородного поверхностного диэлектрического слоя методом эллипсометрии. Показано, что погрешности измерения эллипсометрических углов существенно ограничивают возможности восстановления. The possible reconstruction of the profile permittivity of the inhomogeneous surface dielectric layerwith the ellipsometric method has been studied. It is presented that the accuracy of measuring the ellipsomenric angles significantly limits the possibilities of the reconstruction. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/14906 |
| Располагается в коллекциях: | Известия ГГУ им. Франциска Скорины. Естественные науки |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Karpenko_To_ellipsometry_inverse.pdf | 309.15 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.