| Title: | К обратной задаче эллипсометрии неоднородных слоев |
| Authors: | Карпенко, В.А. Лаптинский, В.Н. Могилевич, В.Н. Романенко, А.А. |
| Keywords: | обратная задача эллипсометрии неоднородный поверхностный диэлектрический слой ellipsometry inverse problem inhomogeneous surface dielectric layer |
| Issue Date: | 2011 |
| Publisher: | Гомельский государственный университет имени Ф. Скорины |
| Citation: | К обратной задаче эллипсометрии неоднородных слоев / В.А. Карпенко, В.Н. Лаптинский, В.Н. Могилевич, А.А. Романенко // Известия Гомельского государственного университета имени Ф. Скорины. Сер.: Естественные науки. - 2011. - № 6 (69). - С. 88-91. |
| Abstract: | Рассмотрен вопрос о возможности восстановления профиля диэлектрической проницаемости неоднородного поверхностного диэлектрического слоя методом эллипсометрии. Показано, что погрешности измерения эллипсометрических углов существенно ограничивают возможности восстановления. The possible reconstruction of the profile permittivity of the inhomogeneous surface dielectric layerwith the ellipsometric method has been studied. It is presented that the accuracy of measuring the ellipsomenric angles significantly limits the possibilities of the reconstruction. |
| URI: | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/14906 |
| Appears in Collections: | Известия ГГУ им. Франциска Скорины. Естественные науки |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Karpenko_To_ellipsometry_inverse.pdf | 309.15 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.