Исследования процессов образования наночастиц и фракталов на поверхности оксидированного алюминия при лазерном напылении тонких пленок меди сдвоенными лазерными импульсами

Abstract

Исследована динамика образования наночастиц и фракталов на поверхности оксидированного алюминия при лазерном напылении тонких пленок меди сдвоенными лазерными импульсами. Показано, что использование высокоинтенсивных сдвоенных лазерных импульсов позволяет проводить лазерное напыление тонких пленок непосредственно в воздухе, снижая до приемлемого уровня негативное воздействие окружающей атмосферы на процесс осаждения (торможение осаждаемых частиц, внедрение атмосферных газов в объем пленки). Показано, что судьба и размер частиц Cu, напыляемых на поверхность, существенно зависит от материала подложки. The article studies the formation dynamics of nanoparticles and fractals on the surface of oxidized aluminum on laser deposition of thin copper films by double laser pulses. It is shown that the using highintensity double laser pulses enables to carry out laser deposition of thin films directly in the air with an acceptable lowering of the adverse surrounding-atmosphere effects (deceleration of the particles, embedding of atmospheric gases into the film) on the sputtering process. Besides, it is demonstrated that the fate and size of Cu particles deposited is considerably dependent on the material of a substrate.