| Title: | Катодное распыление ниобия и его сплавов в гелиевом тлеющем разряде |
| Authors: | Скоров, Д.М. Калин, Б.А. Волков, В.Б. Карцев, П.И. Кирилин, Н.М. |
| Keywords: | катодное распыление ниобия распыление ниобия и его сплавов гелиевый тлеющий разряд |
| Issue Date: | 1975 |
| Publisher: | Атомиздат |
| Citation: | Катодное распыление ниобия и его сплавов в гелиевом тлеющем разряде / Д. М. Скоров, Б. А. Калин, В. Б. Волков и др. // Атомная энергия / АН СССР. - Москва : Атомиздат, 1975. - Т. 38, вып. 5. - С. 338-339. |
| URI: | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/16177 |
| Appears in Collections: | Оцифрованный фонд |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Skorov_Katodnoe.pdf | 3.36 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.