| Название: | Катодное распыление ниобия и его сплавов в гелиевом тлеющем разряде |
| Авторы: | Скоров, Д.М. Калин, Б.А. Волков, В.Б. Карцев, П.И. Кирилин, Н.М. |
| Ключевые слова: | катодное распыление ниобия распыление ниобия и его сплавов гелиевый тлеющий разряд |
| Дата публикации: | 1975 |
| Издательство: | Атомиздат |
| Библиографическое описание: | Катодное распыление ниобия и его сплавов в гелиевом тлеющем разряде / Д. М. Скоров, Б. А. Калин, В. Б. Волков и др. // Атомная энергия / АН СССР. - Москва : Атомиздат, 1975. - Т. 38, вып. 5. - С. 338-339. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/16177 |
| Располагается в коллекциях: | Оцифрованный фонд |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Skorov_Katodnoe.pdf | 3.36 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.