| Название: | Эффективная двулучевая схема раскалывания двухслойных структур из пластин кремния и стеклянных подложек |
| Авторы: | Никитюк, Ю.В. Сердюков, А.Н. Шалупаев, С.В. Середа, А.А. |
| Дата публикации: | 2020 |
| Издательство: | Гомельский государственный университет имени Ф. Скорины |
| Библиографическое описание: | Эффективная двулучевая схема раскалывания двухслойных структур из пластин кремния и стеклянных подложек / Ю.В. Никитюк, А.Н. Сердюков, С.В. Шалупаев, А.А. Середа // Международная юбилейная научно-практическая конференция, посвященная 90-летию Гомельского государственного университета имени Франциска Скорины (Гомель, 19–20 ноября 2020 г.) : материалы : в 3 ч. Ч. 3 / Гомельский гос. ун-т им. Ф. Скорины ; редкол. : С. А. Хахомов (гл. ред.) [и др.]. – Гомель : ГГУ им. Ф. Скорины, 2020. – С. 151-155. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/16818 |
| Располагается в коллекциях: | Статьи |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Никитюк_Эффективная.pdf | 543.76 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.