Влияние плазменной обработки покрытий на основе кремнийорганических полимеров, осажденных методом электроннолучевого диспергирования, на их структуру и морфологию

Abstract

Методами РФЭС, ИК спектроскопии и АСМ микроскопии определены изменения состава, молекулярной структуры и морфологии кремнийорганических покрытий К42 и композиционных слоев на основе К42 и фторуглеродных высокомолекулярных соединений при их плазменной обработке. Показано, что плазменная обработка покрытий вызывает разрушение Si – C связей, отщепление углеводородных фрагментов и образование кислородсодержащих групп, SiO₂-подобных структур, повышение шероховатости поверхностных слоев. При плазменной обработке композиционного покрытия происходит преимущественное разрушение фторуглеродной компоненты. Увеличение массовой доли ПТФЭ в исходной мишени не сопровождается монотонным снижением поверхностной энергии осаждаемого покрытия. Changes in the composition, molecular structure and morphology of organosilicon coatings and composite layers based on organosilicon and high-molecular fluorocarbon compounds during their plasma treatment were determined by XPS, IR spectroscopy, and AFM microscopy.The plasma treatment of coatings causes destruction of Si – C bonds, elimination of hydrocarbon fragments and the formation of oxygen-containing groups, SiO₂-like structures, and an increase in the roughness of surface layers is shown. The destruction of the fluorocarbon component occurs during the plasma treatment of the composite coating. An increase in the mass fraction of PTFE in the initial target is not accompanied by a monotonic decrease in the surface energy of the deposited coating.