Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Емельянов, В.А. | - |
| dc.contributor.author | Полевиков, В.М. | - |
| dc.contributor.author | Федосенко, Н.Н. | - |
| dc.contributor.author | Шолох, В.Г. | - |
| dc.contributor.author | Зеленый, В.П. | - |
| dc.date.accessioned | 2021-03-31T06:56:12Z | - |
| dc.date.available | 2021-03-31T06:56:12Z | - |
| dc.date.issued | 1999 | - |
| dc.identifier.citation | Корпускулярно-фотонные технологии тонких пленок : методические указания к лабораторным работам по спецкурсу. В 2 ч. Ч. 2 / В.А. Емельянов [и др.] ; М-во образования РБ, Гомельский гос. ун-т имени Ф. Скорины. - Гомель : ГГУ им. Ф. Скорины, 1999. - 68 с. | ru |
| dc.identifier.uri | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/19353 | - |
| dc.description.abstract | В методических указаниях приведены сведения о процессах формирования тонких пленок в вакууме на основе прогрессивных технологий: лазерной, электронно-лучевой, магнетронной. Рассмотрено современное технологическое оборудование и даны технологические режимы получения покрытий. Предназначено для студентов физических специальностей высших учебных заведений. | ru |
| dc.language.iso | Русский | ru |
| dc.publisher | Гомельский государственный университет имени Ф.Скорины | ru |
| dc.title | Корпускулярно-фотонные технологии тонких пленок | ru |
| dc.placeOfPublication | Гомель | ru |
| Appears in Collections: | факультет физики и информационных технологий : документы для всех специальностей | |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Емельянов_Методические_указания.pdf | 1.81 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.