| Название: | Корпускулярно-фотонные технологии тонких пленок |
| Авторы: | Емельянов, В.А. Полевиков, В.М. Федосенко, Н.Н. Шолох, В.Г. Зеленый, В.П. |
| Дата публикации: | 1999 |
| Издательство: | Гомельский государственный университет имени Ф.Скорины |
| Библиографическое описание: | Корпускулярно-фотонные технологии тонких пленок : методические указания к лабораторным работам по спецкурсу. В 2 ч. Ч. 2 / В.А. Емельянов [и др.] ; М-во образования РБ, Гомельский гос. ун-т имени Ф. Скорины. - Гомель : ГГУ им. Ф. Скорины, 1999. - 68 с. |
| Краткий осмотр (реферат): | В методических указаниях приведены сведения о процессах формирования тонких пленок в вакууме на основе прогрессивных технологий: лазерной, электронно-лучевой, магнетронной. Рассмотрено современное технологическое оборудование и даны технологические режимы получения покрытий. Предназначено для студентов физических специальностей высших учебных заведений. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/19353 |
| Располагается в коллекциях: | факультет физики и информационных технологий : документы для всех специальностей |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Емельянов_Методические_указания.pdf | 1.81 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.