Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Достанко, А.П. | - |
dc.contributor.author | Голосов, Д.А. | - |
dc.contributor.author | Завадский, С.М. | - |
dc.contributor.author | Мельников, С.Н. | - |
dc.contributor.author | Окоджи, Д.Э. | - |
dc.contributor.author | Котинго, Д.Д. | - |
dc.contributor.author | Рубан, Г.М. | - |
dc.date.accessioned | 2018-03-14T07:02:28Z | - |
dc.date.available | 2018-03-14T07:02:28Z | - |
dc.date.issued | 2016 | - |
dc.identifier.citation | Формирование пленок нитрида титана методом реактивного магнетронного распыления при пониженном давлении / А.П. Достанко, Д.А. Голосов, С.М. Завадский, С.Н. Мельников, Д. Э. Окоджи, Д.Д. Котинго, Г.М. Рубан // Проблемы физики, математики и техники. Сер.: Физика. - 2016. - № 2 (27). - С. 12-17. | ru |
dc.identifier.issn | 2077-8708 | - |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/123456789/2557 | - |
dc.description.abstract | Проведены исследования процесса реактивного магнетронного распыления титана в среде Ar/N2 рабочих газов при пониженном давлении. Установлено, что при высоковакуумном режиме работы магнетронной распылительной системы и высоких скоростях откачки в режиме стабилизации мощности разряда магнетрона напряжение разряда практически однозначно зависит от содержания реактивного газа в камере, т. е. отсутствует гистерезис характеристик, свойственный процессам реактивного распыления. При этом возможно воспроизводимое нанесение слоев нитрида титана c удельным сопротивлением менее 70 мкОм×см и твердостью свыше 28 ГПа. | ru |
dc.language.iso | Русский | ru |
dc.subject | реактивное магнетронное распыление | ru |
dc.subject | нитрид титана | ru |
dc.subject | микротвердость | ru |
dc.subject | коэффициент трения | ru |
dc.subject | объемный износ | ru |
dc.title | Формирование пленок нитрида титана методом реактивного магнетронного распыления при пониженном давлении | ru |
dc.title.alternative | Formation of titanium nitride films by reactive magnetron sputtering under low pressure | ru |
dc.type | Article | ru |
dc.identifier.udk | 621.3.049.77:621.793 | - |
dc.root | Проблемы физики, математики и техники | ru |
dc.series | Физика | ru |
dc.number | 2(27) | ru |
Располагается в коллекциях: | Проблемы физики, математики, техники. Физика |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Достанко АП Голосов ДА Завадский СМ Мельников СН Окоджи ДЭ Котинго ДД Рубан ГМ 2016-2.pdf | 648.46 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.