Full metadata record
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.author | Гайшун, В.Е. | - |
dc.contributor.author | Косенок, Я.А. | - |
dc.contributor.author | Тюленкова, О.И. | - |
dc.contributor.author | Булавко, М.А. | - |
dc.contributor.author | Савицкая, Т.А. | - |
dc.contributor.author | Кимленко, И.М. | - |
dc.date.accessioned | 2021-09-28T09:03:17Z | - |
dc.date.available | 2021-09-28T09:03:17Z | - |
dc.date.issued | 2021 | - |
dc.identifier.citation | Полирующие композиции на основе наноразмерного порошка диоксида кремния и полученного ионообменным способом ультрадисперсного золя для применения в процессе полировки полупроводниковых материалов / В.Е. Гайшун, Я.А. Косенок, О.И. Тюленкова, М.А. Булавко, Т.А. Савицкая, И.М. Кимленко // Научная конференция, посвященная 110-летию со дня рождения Ф. И. Федорова (Гомель, 25 июня 2021 года) [Электронный ресурс] : сборник материалов / Гомельский гос. ун-т им. Ф. Скорины, отделение физики, математики и информатики Национальной академии наук Беларуси, государственное научное учреждение «Институт физики имени Б. И. Степанова Национальной академии наук Беларуси» ; редкол. : С. А. Хахомов (гл. ред.) [и др.]. – Гомель : ГГУ им. Ф. Скорины, 2021. – С. 308-312. | ru |
dc.identifier.uri | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/27110 | - |
dc.language.iso | Русский | ru |
dc.publisher | Гомельский государственный университет имени Ф. Скорины | ru |
dc.title | Полирующие композиции на основе наноразмерного порошка диоксида кремния и полученного ионообменным способом ультрадисперсного золя для применения в процессе полировки полупроводниковых материалов | ru |
dc.type | Article | ru |
dc.root | Научная конференция, посвященная 110-летию со дня рождения Ф. И. Федорова (Гомель, 25 июня 2021 года) [Электронный ресурс] : сборник материалов | ru |
dc.placeOfPublication | Гомель | ru |
Appears in Collections: | Статьи |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Гайшун_Полирующие.pdf | 517.55 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.