| Title: | Полирующие композиции на основе наноразмерного порошка диоксида кремния и полученного ионообменным способом ультрадисперсного золя для применения в процессе полировки полупроводниковых материалов |
| Authors: | Гайшун, В.Е. Косенок, Я.А. Тюленкова, О.И. Булавко, М.А. Савицкая, Т.А. Кимленко, И.М. |
| Issue Date: | 2021 |
| Publisher: | Гомельский государственный университет имени Ф. Скорины |
| Citation: | Полирующие композиции на основе наноразмерного порошка диоксида кремния и полученного ионообменным способом ультрадисперсного золя для применения в процессе полировки полупроводниковых материалов / В.Е. Гайшун, Я.А. Косенок, О.И. Тюленкова, М.А. Булавко, Т.А. Савицкая, И.М. Кимленко // Научная конференция, посвященная 110-летию со дня рождения Ф. И. Федорова (Гомель, 25 июня 2021 года) [Электронный ресурс] : сборник материалов / Гомельский гос. ун-т им. Ф. Скорины, отделение физики, математики и информатики Национальной академии наук Беларуси, государственное научное учреждение «Институт физики имени Б. И. Степанова Национальной академии наук Беларуси» ; редкол. : С. А. Хахомов (гл. ред.) [и др.]. – Гомель : ГГУ им. Ф. Скорины, 2021. – С. 308-312. |
| URI: | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/27110 |
| Appears in Collections: | Статьи |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Гайшун_Полирующие.pdf | 517.55 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.