Full metadata record
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.author | Васькевич, В.В. | - |
dc.contributor.author | Гайшун, В.Е. | - |
dc.contributor.author | Коваленко, Д.Л. | - |
dc.date.accessioned | 2022-02-16T11:59:41Z | - |
dc.date.available | 2022-02-16T11:59:41Z | - |
dc.date.issued | 2014 | - |
dc.identifier.citation | Васькевич, С.В. Синтез и исследование силикатных золь–гель-покрытий для микро- и наноэлектроники / С.В. Васькевич, В.Е. Гайшун, Д.Л. Коваленко // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології. - 2014. - Т. 12, № 2. - С. 279-293. | ru |
dc.identifier.uri | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/33483 | - |
dc.description.abstract | В работе рассмотрена возможность создания диэлектрических SiO2- покрытий на основе золь–гель-метода путём гидролиза металлоорганических соединений кремния в водно-спиртовой смеси. Описаны оптимальные параметры нанесения и термообработки для получения однородных покрытий на поверхности монокристаллического кремния. Выполнены исследования механической стойкости к истиранию как основного вида испытания покрытий на прочность и адгезию к поверхности подложки. Методом ИК-спектроскопии изучены фазовые и структурные превращений в процессе формирования золь–гель-плёнок. Методом АСМ установлены зависимости состояния и морфологии поверхности покрытий от состава исходного плёнкообразующего раствора и технологических режимов получения диэлектрических плёнок. Проанализированы электрофизические свойства сформированных МДП-структур в зависимости от состава плёнкообразующего раствора. | ru |
dc.language.iso | Русский | ru |
dc.publisher | Інститут металофізики ім. Г. В. Курдюмова ÍАÍ України | ru |
dc.subject | золь–гель-технология | ru |
dc.subject | стойкость к истиранию | ru |
dc.subject | структура поверхности | ru |
dc.subject | диэлектрическая проницаемость | ru |
dc.title | Синтез и исследование силикатных золь–гель-покрытий для микро- и наноэлектроники | ru |
dc.type | Article | ru |
dc.root | Наносистеми, наноматеріали, нанотехнологіі | ru |
dc.placeOfPublication | Киiв | ru |
dc.number | № 2 | ru |
dc.volume | 12 | ru |
Appears in Collections: | Статьи |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Васькевич_Синтез_и_исследование.pdf | 438.84 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.