Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorВаськевич, В.В.-
dc.contributor.authorГайшун, В.Е.-
dc.contributor.authorКоваленко, Д.Л.-
dc.date.accessioned2022-02-16T11:59:41Z-
dc.date.available2022-02-16T11:59:41Z-
dc.date.issued2014-
dc.identifier.citationВаськевич, С.В. Синтез и исследование силикатных золь–гель-покрытий для микро- и наноэлектроники / С.В. Васькевич, В.Е. Гайшун, Д.Л. Коваленко // Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології. - 2014. - Т. 12, № 2. - С. 279-293.ru
dc.identifier.urihttp://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/33483-
dc.description.abstractВ работе рассмотрена возможность создания диэлектрических SiO2- покрытий на основе золь–гель-метода путём гидролиза металлоорганических соединений кремния в водно-спиртовой смеси. Описаны оптимальные параметры нанесения и термообработки для получения однородных покрытий на поверхности монокристаллического кремния. Выполнены исследования механической стойкости к истиранию как основного вида испытания покрытий на прочность и адгезию к поверхности подложки. Методом ИК-спектроскопии изучены фазовые и структурные превращений в процессе формирования золь–гель-плёнок. Методом АСМ установлены зависимости состояния и морфологии поверхности покрытий от состава исходного плёнкообразующего раствора и технологических режимов получения диэлектрических плёнок. Проанализированы электрофизические свойства сформированных МДП-структур в зависимости от состава плёнкообразующего раствора.ru
dc.language.isoРусскийru
dc.publisherІнститут металофізики ім. Г. В. Курдюмова ÍАÍ Україниru
dc.subjectзоль–гель-технологияru
dc.subjectстойкость к истираниюru
dc.subjectструктура поверхностиru
dc.subjectдиэлектрическая проницаемостьru
dc.titleСинтез и исследование силикатных золь–гель-покрытий для микро- и наноэлектроникиru
dc.typeArticleru
dc.rootНаносистеми, наноматеріали, нанотехнологііru
dc.placeOfPublicationКиiвru
dc.number№ 2ru
dc.volume12ru
Appears in Collections:Статьи

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Васькевич_Синтез_и_исследование.pdf438.84 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.