Оптические свойства и морфология тонкоплёночного поляризатора для двух рабочих длин волн на основе тугоплавких оксидов

Abstract

Методом вакуумного электронно-лучевого испарения совместно с системой оптического контроля толщины сформирован опытный образец 14-слойного поляризационного покрытия для двух рабочих длин волн 532 нм и 633 нм на основе чередующихся слоев ZrO2 и SiO2. Определены морфологические особенности поверхности и оптические свойства многослойных покрытий. Проведён анализ зависимости степени поляризации сформированных покрытий от природы материала подложки. A prototype o f a 14-layer polarization coating for two working wavelengths of 532 nm and 633 nm based on alternating ZrO2 and SiO2 layers was formed by vacuum electron-beam evaporation with the optical thickness control system. The morphological features o f the surface and the optical properties o f multilayer coatings are determined. The dependence o f the degree ofpolarization of the formed coatings on the nature o f the substrate material has been analyzed.