Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorБлюмкина, Ю.А.-
dc.contributor.authorАлгазин, Ю.Б.-
dc.contributor.authorАрхипенко, А.В.-
dc.contributor.authorСвиташев, К.К.-
dc.contributor.authorСтепанов, С.А.-
dc.date.accessioned2022-03-01T10:31:23Z-
dc.date.available2022-03-01T10:31:23Z-
dc.date.issued1976-
dc.identifier.citationСистема автоматизации эллипсометрических измерений / Ю.А. Блюмкина [и др.] // Оптика и спектроскопия / АН СССР. - Ленинград : Наука, 1976. - Т. 40, вып. 3. - С. 596-599.ru
dc.identifier.urihttp://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/34165-
dc.description.abstractРеализован компенсационный метод автоматизации эллипсометрических измерений, использующий эффект Фарадея. Статистическая ошибка разработанной системы во всем диапазоне измерений поляризационных углов (±25 или ±50ᵒ) не превышает 6·10⁻⁴.ru
dc.language.isoРусскийru
dc.publisherНаукаru
dc.titleСистема автоматизации эллипсометрических измеренийru
dc.typeArticleru
dc.identifier.udk535.51-
dc.rootОптика и спектроскопияru
dc.placeOfPublicationЛенинградru
dc.edition3ru
dc.volume40ru
Appears in Collections:Оцифрованный фонд

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Блюмкина_Система.pdf6.03 MBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.