Full metadata record
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.author | Блюмкина, Ю.А. | - |
dc.contributor.author | Алгазин, Ю.Б. | - |
dc.contributor.author | Архипенко, А.В. | - |
dc.contributor.author | Свиташев, К.К. | - |
dc.contributor.author | Степанов, С.А. | - |
dc.date.accessioned | 2022-03-01T10:31:23Z | - |
dc.date.available | 2022-03-01T10:31:23Z | - |
dc.date.issued | 1976 | - |
dc.identifier.citation | Система автоматизации эллипсометрических измерений / Ю.А. Блюмкина [и др.] // Оптика и спектроскопия / АН СССР. - Ленинград : Наука, 1976. - Т. 40, вып. 3. - С. 596-599. | ru |
dc.identifier.uri | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/34165 | - |
dc.description.abstract | Реализован компенсационный метод автоматизации эллипсометрических измерений, использующий эффект Фарадея. Статистическая ошибка разработанной системы во всем диапазоне измерений поляризационных углов (±25 или ±50ᵒ) не превышает 6·10⁻⁴. | ru |
dc.language.iso | Русский | ru |
dc.publisher | Наука | ru |
dc.title | Система автоматизации эллипсометрических измерений | ru |
dc.type | Article | ru |
dc.identifier.udk | 535.51 | - |
dc.root | Оптика и спектроскопия | ru |
dc.placeOfPublication | Ленинград | ru |
dc.edition | 3 | ru |
dc.volume | 40 | ru |
Appears in Collections: | Оцифрованный фонд |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Блюмкина_Система.pdf | 6.03 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.