| Название: | Система автоматизации эллипсометрических измерений |
| Авторы: | Блюмкина, Ю.А. Алгазин, Ю.Б. Архипенко, А.В. Свиташев, К.К. Степанов, С.А. |
| Дата публикации: | 1976 |
| Издательство: | Наука |
| Библиографическое описание: | Система автоматизации эллипсометрических измерений / Ю.А. Блюмкина [и др.] // Оптика и спектроскопия / АН СССР. - Ленинград : Наука, 1976. - Т. 40, вып. 3. - С. 596-599. |
| Краткий осмотр (реферат): | Реализован компенсационный метод автоматизации эллипсометрических измерений, использующий эффект Фарадея. Статистическая ошибка разработанной системы во всем диапазоне измерений поляризационных углов (±25 или ±50ᵒ) не превышает 6·10⁻⁴. |
| URI (Унифицированный идентификатор ресурса): | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/34165 |
| Располагается в коллекциях: | Оцифрованный фонд |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Блюмкина_Система.pdf | 6.03 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.