Влияние природы карбидообразующих металлов на фазовый состав и структуру легированных углеродных покрытий

Abstract

Определены структурно-фазовые особенности осаждаемых из импульсной катодной плазмы углеродных покрытий, легированных титаном, хромом. Установлено, что при электродуговом испарении металлов в объеме аморфной углеродной матрицы формируются металлсодержащие образования со средним размером 40..90 нм. Введение хрома в углеродную матрицу, приводит к росту содержания атомов углерода sp³ фазы, легирование же углеродного покрытия титаном способствует снижению количества атомов с sp³ гибридизацией, увеличению размера и упорядоченности Csp² кластеров.

Structural-phase features of carbon coatings deposited from impulse cathode plasma doped with titanium and chromium are determined. It is established that metal-containing formations with an average size of 40..90 nm are formed in the volume of an amorphous carbon matrix during electric arc evaporation of metals. The introduction of chromium into the carbon matrix leads to an increase in the content of carbon atoms in the sp³ state, doping the same carbon coating with titanium helps reduce the number of atoms with sp³ hybridization, increase in the size and ordering of Csp² clusters.