Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Ивашкевич, И.В. | - |
| dc.contributor.author | Филиппов, В.В. | - |
| dc.date.accessioned | 2022-04-13T12:12:07Z | - |
| dc.date.available | 2022-04-13T12:12:07Z | - |
| dc.date.issued | 2018 | - |
| dc.identifier.citation | Ивашкевич, И.В. Спектральная эллипсометрия клиновидных полупроводниковых пленок на кремниевых подложках / И.В. Ивашкевич, В.В. Филиппов // Проблемы взаимодействия излучения с веществом [Электронный ресурс] : V Международная научная конференция, посвященная академику Б.В. Бокутю (Гомель, 14–16 ноября 2018 г.) : материалы : в 2 ч. Ч. 2 / редкол.: Д.Л. Коваленко [и др.] ; М-во образования Республики Беларусь и др. – Гомель : ГГУ им. Ф. Скорины, 2018. – С. 104-108. | ru |
| dc.identifier.uri | http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/37341 | - |
| dc.language.iso | Русский | ru |
| dc.publisher | Гомельский государственный университет им. Ф. Скорины | ru |
| dc.title | Спектральная эллипсометрия клиновидных полупроводниковых пленок на кремниевых подложках | ru |
| dc.type | Article | ru |
| dc.root | Проблемы взаимодействия излучения с веществом [Электронный ресурс] | ru |
| dc.placeOfPublication | Гомель | ru |
| Appears in Collections: | Статьи | |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| И.В. Ивашкевич1, В.В. Филиппов2.pdf | 260.95 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.